真空泵系统的工艺要求

      涂布机：广泛应用于塑料、工艺礼品、包装、光学、电子、玩具、建材、五金、钟表、珠宝、汽车等行业。涂布机的销售范围遍及全国。在运营流程上，从原材料采购、设备制造、运营管理、技术人员现场安装调试到售后服务，形成了有序完善的质量管理体系。炉体可用不锈钢、碳钢或其组合材料制成。根据工艺要求，选用不同规格型号的镀膜设备，包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等，有旋转、旋转和旋转+旋转夹具操作的模式。用户可根据基板的尺寸和形状提出相应的要求。转速范围及精度：普通可调及变频调速。

      真空泵系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵、坩埚轮分子泵等及各种配套的气动、手动、电动阀门、管路等组成，根据工艺要求，选择电镀方法和形式，如电阻蒸发（钨丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝、不锈钢丝，钼舟、石墨舟）磁控管源（同轴圆柱形磁控管源、圆柱形平面磁控管源、矩形平面磁控管源等）、多弧源靶材及尺寸（Ф60、Ф80直径靶材、气动、电引弧等）、数字式智能真空计及其测量调节可选择用于真空测量，其应用可用于测量仪器，如自动压力控制器等。膜的厚度可通过平方电阻计、透射率计等质量流量计进行测量，充电方式可选择转子流量计+针阀和相应的充电阀，并可选择多通道充电管路和相应的流量参数。根据烘烤结构，提出了烘烤温度、烘烤材料及相应的烘烤仪器。根据设备的特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合的控制方式。真空室本体、扩散泵缺相、缺水、气压、电力负荷过压、过流等异常情况声光报警。