不同类型干式真空泵的比较

      干式真空泵以其优越的性能在真空泵市场上占有有利的地位。作为一种新型的无摩擦间隙密封干式真空泵，具有良好的排液、排尘性能和较低的故障率。事实上，这是由于其科学的制造技术。随着用户的需求，不同类型的真空泵不断涌现，然而为了方便用户的选择，本文对不同类型的真空泵进行了比较。

1.干螺杆真空泵：目前商品化产品的抽速为15-150l/s，真空极限可达1pA。一般为水平结构。适用于电子、真空镀膜等相对清洁的环境，在化工、制药等行业故障率高。国外数控螺纹铣削、数控螺纹磨削等高精度加工设备较为普及，螺杆转子加工精度高，质量好。绝大多数国内企业不具备国外的加工条件。通常采用数控车床加工螺杆转子，大大降低了螺杆转子的加工精度和质量。整机的质量和使用寿命与国外产品不同。

2.爪形转子干式真空泵：目前该类干式真空泵已商品化，抽速4-150l/s，真空极限1-3pa，分为卧式和立式两种结构。卧式结构适用于相对清洁的环境，如电子、真空镀膜等行业；立式结构适用于提取粉尘、夹带的液化气和凝析气。例如，爱德华兹EDP系列在石油、化工和制药行业占有很高的份额。爪形真空泵生产对设备要求较低。符合要求的零件可采用数控加工、线切割机、外圆磨床、平面磨床加工。但是，有很多零件，对装配有更高的要求。

3、涡旋式干式真空泵：目前该类干式真空泵的商用产品抽速为1-15l/s。目前没有超过15L/s的产品，真空极限可达1pA。该泵适用于洁净环境，不能用于提取含尘气体和液体。涡流盘生产设备要求高，工艺复杂，国产化加工难以满足其精度要求，装配调试程序复杂、难度大。

从这三种不同类型的干式真空泵可以看出，该设备的性能相对较好，对其制造工艺的要求也较为严格。使用领域存在空白。使用时，应选择适合自己情况的设备进行生产。