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罗茨真空机组前级泵的选择

编辑:石家庄兴耀真空泵科技有限公司时间:2016-10-29

     1、抉择前级泵的抽速,要依据罗茨真空机组的历久事情压力规模斟酌。
      例若有一体系罗茨真空机组机组抽气,请求在1 mbar进口压力时有600升/秒的抽速,并历久事情,问应抉择多大抽速的前级泵。

      先假设用30升/秒的前级泵时,压缩比K=600:30=20得出K=20时最大排挤压力为30 mbar。
      由此得出,当选用30升/秒前级泵时,在进口压力低于1.5 mbar如下事情是可行的,但高于1.5 mbar进口压力事情时就选用大一些前级泵了。该例中,事情真空度1 mbar低于1.5 mbar,以是30升/秒的前级泵能够满意上述真空体系的抽气请求。
      别的该当斟酌的是,对预抽光阴的请求成绩,如果失常事情光阴远比预抽光阴长,可选较小的前级泵;如果真空室较大,并且请求很快预抽,就要用较大的前级泵,偶然为了更好施展装备的效力,机组装有较大的预抽泵,在失常事情后停掉它,而用较小的前级泵保持,这样做是为了勤俭功率。
      2、对罗茨真空泵机组的极限压力的请求,也是抉择前级泵的必需斟酌的。
      对极限真空度请求较高(达1X10-3Pa~1X10-2Pa压力)一样平常选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。极限真空度请求在(1X10-2Pa~1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵,极限真空度请求在133~1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。
      当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时,前级泵的抽速一样平常为罗茨真空泵的1/2-1/4,不克不及太大,不然将使压缩比过大,形成罗茨真空泵的排气温度高而不克不及失常事情。
      3、选用前级泵时还必需斟酌被抽气体中能否有腐蚀性介质,能否含有可凝性气体,是大批的照样微量的。
      如果含有腐蚀性气体,就不克不及选用油封机械泵,油封机械泵还不适宜抽除含有大批可凝性蒸汽的气体,不然将会使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时,也必需采用带有气镇装配的油封机械泵作为前级泵。
      为了得到在低进口压力(1~100pa)时的高的抽气速度,可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空机组的前级泵构成的三级或四级机组,此时罗茨真空机组之间的抽速比一样平常在2~5之间。

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